四探针电阻率/方阻测试仪的分类介绍

发布时间: 2022-08-04 15:02:32 点击: 126

四探针电阻率/方阻测试仪的分类介绍
在半导体等新型应用材料行业中,四探针测试仪是不陌生的,几乎是必备检测手段,比如硅片晶圆,二代,三代芯片应用的半导体材料;半导体材料是个统称,还有其他类型的根据不同的应用场景不同而备制方式也不同,比如:涂层类,薄膜类及导体与绝缘材料的添加备制等新材料都属于半导体性质,这些材料质量的检测都离不开四探针方法的四探针测试仪来测量.


一.四探针测量方法分类

四探针电阻率/方阻测试仪一般来说所有的四探针测试仪方法都不一定相同,不同方法对测量准确性及精度影响比较大的,常见的有单一计算方法和组合计算测量方法;组合方法更加优在准确性和重复性.特别是应用于高要求的晶圆类产品的测量时突出表现.


二.四探针测试仪自动化程度来分类

四探针电阻率/方阻测试仪大体分类为,全自动类型和半自动类型;全自动类型成本高,精度和稳定性要求也高,如全自动四探针测试仪一般采用MAP地图图谱方式来描述整体样品均匀性及方阻和电阻率数据,也就是应用2D和3D 图.


而半自动类设备,里面也分类为简易的数据显示结果,和半人工配合操控的类型数据量更加丰富些,


三.四探针电阻率/方阻测试仪按照便捷性划分为手持式和台式机型,比如需随身携带的手持四探针测试仪就是便捷用途;

四.在依据不同的测试条件下也可以做划分:比如常温下使用的,及高温四探针测试等